FFU的全稱叫FAN FILTER UNIT，風機過濾單元;，也就是風機過濾器聯結在一起，能自己提供動力的潔凈設備。
     早在二十世紀六十年代，**個潔凈室的建立就已經開始出現FFU的應用了。
     *早出現于一些有高潔凈度(≥100級 聯邦標準209E)要求的改造項目當中，用來解決以下三方面的問題：
一、無塵車間吊頂空間不夠
　　在一些有高潔凈度要求的場合，無塵車間吊頂上部的送風靜壓箱有一個很大的作用就是來平衡潔凈室的橫斷面上的壓力，但是當使用FFU的時侯，潔凈室的吊頂被分成了若干模塊，我們可以通過調節每個模塊(即FFU)來滿足吊頂上部送風靜壓箱的壓力平衡的要求，從而大大降低了對該靜壓箱高度的要求。在一些改造項目當中，當受層高限制時，FFU有效地解決了這一問題。
二、無塵車間靜壓不足
　　在一些改造項目中，由于條件限制，使得送風阻力很大，單獨靠空調機組的送風壓力來克服有困難，由于FFU自帶動力，可以很好地解決這一問題。
三、空調機房面積不夠
　　有一些改造項目，由于空調機房面積較小，不可能容納大的空調機組，此時，用FFU的自帶動力來彌補這一缺陷，從而可以減小使用的空調機組。這一優勢也被應用到一些潔凈度要求較低(如 1000級 10000級 聯邦標準209E)的場合。
      在亞洲才出現大規模應用FFU的事例（大約有5000臺）。是什么原因導致在這么長的時間沒有得到廣泛的發展呢？
FFU主要有三個問題占主導地位。
    **：噪聲問題。各位可以想一想，在當時的生產工藝水平下，5000臺風機在一起的噪聲會是多大呢？
    **：壓力平衡。在很大的靜壓箱里，每一個不同角落的風機是否能得到均衡的壓力，這在當時也是不能夠得到保證的。
    第三：維護問題。FFU本身造價就比較高，如果它的電機壽命不能保證的話，更換又會帶來附加投資。這些都是造成當時的企業不選擇使用FFU的主要原因。但是這一切，在1984年都發生了改變。首先是噪聲問題得到了控制，大規模的FFU潔凈廠房都可以把噪聲控制在65DBA以下，這符合工業廠房的標準。其次隨著自動控制的發展，監測和調節各個角落的靜壓也變得容易起來。*后電機的壽命隨著技術的提高也得到了質的飛躍。現在，隨著半導體電子技術的發展，越來越密集的集成電路也要求著越來越高的潔凈等級。
國家之所以大力推廣FFU，正是因為它本身的優勢。
    **、靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
    **、可再利用性。從理論上講，一時不用的設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
    第三、負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且**。
    第四、縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
    第五、減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。比用常規的空調機組集中送風減少約40%的運行成本 。